이승우 교수, 2022 ASML Young Professor Paper Award 최우수상 수상

공과대학 융합에너지공학과 & KU-KIST융합대학원 이승우 교수가 지난 8월 19일 2022 ASML에서 주최하는 Tech Talk에서 Young Professor Paper Award 최우수상을 수상했다

Tech Talk는 임용 10년 미만 젊은 교수들의 리소그래피 및 반도체 공정 관련 논문 콘테스트로서 최우수상은 단독 1위에 해당된다.

이승우 교수는 레지스트 신공정을 통해 1 나노 이하 EUV 리소그래피 반도체 공정을 세계 최초로 제시한 공로를 인정받았다.

최근 이승우 교수 연구실은 나노광학 및 광반응성 물질 연구에서 Nature지 게재 승인을 받는 등 우수한 성과를 보이고 있다. 더불어 위와 같은 EUV 리소그래피 레지스트 연구 주제로 삼성미래기술육성센터 과제를 2번째로 수주했으며(2022.10-2025.09, 총 20억; 첫 번째 수주: 2018.06-2022.05, 총 24억), 홀로그램 3차원 반도체 공정 개발 주제로 한국연구재단 미래기술연구실(2022.04-2027.12, 총 47억, HOPE 연구단(hope.korea.ac.kr)) 과제를 수주하는 등의 성과를 거뒀다.

커뮤니케이션팀 서민경(smk920@korea.ac.kr)